首页 产品中心 案例中心 新闻中心 关于我们 联系我们

细粉加工设备(20-400目)

我公司自主研发的MTW欧版磨、LM立式磨等细粉加工设备,拥有多项国家专利,能够将石灰石、方解石、碳酸钙、重晶石、石膏、膨润土等物料研磨至20-400目,是您在电厂脱硫、煤粉制备、重钙加工等工业制粉领域的得力助手。

超细粉加工设备(400-3250目)

LUM超细立磨、MW环辊微粉磨吸收现代工业磨粉技术,专注于400-3250目范围内超细粉磨加工,细度可调可控,突破超细粉加工产能瓶颈,是超细粉加工领域粉磨装备的良好选择。

粗粉加工设备(0-3MM)

兼具磨粉机和破碎机性能优势,产量高、破碎比大、成品率高,在粗粉加工方面成绩斐然。

三氯氢硅专用硅粉制粉工艺

  • 三氯氢硅专用金属硅粉 知乎

    2022年7月12日 — 三氯氢硅专用金属硅粉的应用:三氯氢硅 (SiHCl3)是制备高纯多晶硅的主要原料。 一般SiHCl3的合成方法都是用HCl气体通入到加热的三氯氢硅专用金属硅粉中来 利用三氯氢硅专用硅粉生产三氯氢硅的设备,包括三氯氢硅合成炉混合气出口管道 三氯氢硅专用硅粉 知乎硅粉精制是把会有一定量水分的硅粉在干燥炉内同氮气流化夹套蒸汽加热进行干燥,去掉水分,干燥后的硅粉含水量是影响三氯氢硅质量的关键因素,因此,严格控制工艺条件,保 三氯氢硅生产工艺 百度文库三氯氢硅的合成是在高塔形沸腾床中完成的,干燥的硅粉由中部 送入,氯化氢经底部喷板喷入,氯化氢气体与硅粉在 300℃左右发生 强烈的化学反应生成三氯氢硅和四氯化硅,同 年产4000吨三氯氢硅工艺设计 百度文库

  • 三氯氢硅合成及后处理单元工艺优化研究 百度学术

    3SiHCl是重要的硅基单体原料,广泛应用于电子基板,光伏电池板原材及有机硅生产领域目前最常用的3SiHCl生产技术是直接氯化法(或称硅氢氯化法),利用Si与HCl在适宜的条件下反应 2014年11月10日 — 摘要: 本发明公开了一种三氯氢硅的合成工艺,包括硅粉 (Si)和氯化氢 (HCl)的低压合成法制备三氯氢硅TCS的流程与设备,所述设备主要包括二氯二氢硅DCS蒸 三氯氢硅的合成工艺 百度学术2015年3月19日 — 摘要: 一种三氯氢硅合成系统,包括合成炉、为合成炉供应与合成炉内外加硅粉反应HCL的HCL储罐、用于冷凝合成炉尾气的冷凝器、接收来自冷凝器冷 三氯氢硅合成工艺及系统 百度学术2013年3月13日 — 该工艺的 三氯氢硅制 备在原有的改良西门子法基础上, 结合其他多晶硅企业的 生产经验加以开发和优化, 系统实现了闭路循环的生产,该法已在国内某多晶硅企 三氯氢硅制备工艺介绍 道客巴巴

  • 第三章 三氯氢硅合成 百度文库

    目前,国内外应用最广,最主要的制备超纯硅的方法,是以三氯氢硅为原料,(即改良西门子法)。故三氯氢硅的合成在半导体材料硅的生产中引起了广泛注意,并取得不少成果。 2022年7月12日 — 利用三氯氢硅专用硅粉生产三氯氢硅的设备,包括三氯氢硅合成炉混合气出口管道连接高效旋风分离器,高效旋风分离器的出料口与硅粉回收罐连接;高效旋风分 三氯氢硅专用硅粉 知乎2023年1月24日 — 三氯氢硅采用硅粉与氯化氢气体在流化床反应器中生成,在生产中消耗大量的氯气和氢气,是氯碱企业的种很好的提高经济效益的氯平衡产品。 三氯氢硅又称硅氯 多晶硅三氯氢硅生产工艺流程合成氯化氢反应2024年6月13日 — 宁夏银星冶金法工艺路线: Title Title 三氯氢硅的合成 三氯氢硅的合成 三氯氢硅制备原理:沸腾床中硅粉和氯化氢按下 列反应生成SiHCl 3 Si + 3HCl 280320℃ SiHCl 3 + H 2 + 50Kcal/mol 此反应为放热反应,为保持炉内稳定的反应温度在 上述范围内变化以提高4第四章三氯氢硅的合成 豆丁网

  • 三氯氢硅专用硅粉 知乎

    2022年7月12日 — 三氯氢硅专用硅粉:从我国三氯氢硅产业发展情况看,大多数企业都未配套安装废硅粉回收装置。大多数企业生产中混合气体除尘后产生的废硅粉直接排往淋洗塔,有少数厂家采用将废硅粉排入一个大容积的存灰罐内,再由人工定期排出。2022年6月17日 — 光伏产业链从硅料到硅片、电池片、组件最终安装成光伏电站,涉及到各个环节, 天合光能 分布式推出各个环节从“一块石头到一度绿电”系列解读文章,深入解读各个生产环节,供行业内人士更清晰的知晓每 从一块石头到一度绿电:硅料篇 光伏产业链从硅料到 摘要: 三氯氢硅是制造有机硅烷偶联剂中最基本的单体,同时也是制备多晶硅的主要原料近年来随着三氯氢硅的用途逐渐拓宽,需求量大幅增加与国外先进的工艺技术相比,国内三氯氢硅生产中还存在生产不稳定,生产的副产物不能综合利用,尾气回收存在资源浪费等许多难点问题本论文通过对该工艺 三氯氢硅合成工艺的优化研究 百度学术硅粉精制是把会有一定量水分的硅粉在干燥炉内同氮气流化夹套蒸汽加热进行干燥,去掉水分,干燥后的硅粉含水量是影响三氯氢硅质量的关键因素,因此,严格控制工艺条件,保证硅粉质量是硅粉精制的主要任务。三氯氢硅生产工艺 百度文库

  • 三氯氢硅生产工艺 百度文库

    三氯氢硅生产方法一种四氯化硅氢化生产三氯氢硅的方法,其主要流程如下: a)将镍触媒与硅粉以质量比1-10%的比例均匀混合后置于活化器中,活化条件为H2↑流速≥0.05-0.3m/s,经不同时间阶段由25℃至终温420℃的升温条件下完成活化过程;2018年2月5日 — 内容提示: 三氯氢硅歧化反应动力学及反应精馏生产硅烷工艺研究 Research of trichlorosilane disproportionation reaction kinetics and Preparation process of silane by reactive distillation 学科专业:化学工程 研 究 生:黄友光 指导教师:黄国强 副教授 企业指导教师:田华明 高级工程师 天津大学化工学院 二零一六年五月 三氯氢硅歧化反应动力学及反应精馏生产硅烷工艺研究三氯氢硅合成。将硅粉卸至转动圆盘,通过管道用气体输送至硅粉仓,再加入硅粉干燥器,经过圆盘给料机并计量后加入三氯氢硅合成炉。在三氯氢硅合成炉内,温度控制在80—310℃,硅粉和氯化氢发生反应,生成三氯氢硅和四氯化硅。三氯氢硅生产工艺流程简介 百度文库2023年1月24日 — 1、三氯氢硅合成生产工艺 硅粉用人工加入硅粉干燥器,用蒸汽加热至一定的温度,然后利用氮气和位差压入硅粉计量罐,最后由硅粉给料机送入三氯氢硅沸腾炉,与通入的氯化氢气体在一定的温度下反应;生成的气体经重力沉降器、布袋过滤器、高沸物去除器 多晶硅三氯氢硅生产工艺流程合成氯化氢反应

  • 三氯氢硅制备工艺的改进 专业内容知识聚合服务平台

    针对西门子法三氯氢硅工艺存在的问题进行了技术改造,并对改造前后的工艺进行了对比 关键词: 三氯氢硅、西门子法、工艺、改进 所属期刊栏目: 50 分类号: TQ1272 在线出版日期: (万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间 2013年5月29日 — 1三氯氢硅合成工艺摘要:随着太阳能光伏产业的发展,对多晶硅的需求量增加,同时增加了三氯氢硅的需求量。本文介绍了三氯氢硅的理化性质及安全知识,阐述了三氯氢硅的合成的原理、工艺及流程;并且从影响三氯氢硅合成生产和工艺控制要求的角度出发,就相关生产问题找出控制方案;为了 三氯氢硅合成工艺 豆丁网三氯氢硅生产工艺流程2、氰化钠:氰化钠是用来经由氰化反应分解苯合成三氯氢硅的重要原料。 它的熔点低、易挥发,需要在冷却状态下添加,以免发生爆炸,并且需要用水溶液混合,然后经过循环处理,使其达到合适的浓度,以满足分解苯的要求。三氯氢硅生产工艺流程 百度文库2024年5月23日 — 不同于西门子法棒状硅,需要先制备三氯氢硅,再加氢气还原为11N的电子级高纯多晶硅; 颗粒硅(硅烷流化床法,FBR,REC首创)生产,需要先制备高纯度的硅烷,然后再高温分解为6N低纯颗粒硅。$协鑫科技(03800)$ 的颗粒硅技术,是2017年通过收购美国破产公司SunEdison花钱买来的。通威永祥突破颗粒硅核心技术:高纯硅烷制备! 不同于 西门子

  • 三氯氢硅 科普中国网

    2024年3月4日 — ⑵三氯氢硅的储存。三氯氢硅的沸点较低,需在低温下储存,三氯氢硅的贮罐设置低温保护装置和降温措施。由于三氯氢硅有潜在的燃烧爆炸危险,所以它的贮罐应与生产装置要有一定的防火间距,并且要设防火堤,降温水的排放管道经过防火堤处要设闸阀。三氯氢硅生产工艺流程烟筒设置足够的高度,使烟气的排放符合国家《大气污染物综合排放标准》二级标准的要求。 三氯[wikBiblioteka Baidu]氢[/wiki]硅生产工艺流程三氯氢硅合成。将硅粉卸至转动圆盘,通过管道用气体输送至硅粉仓,再加入硅粉干燥器 三氯氢硅生产工艺流程 百度文库摘要: 三氯氢硅是制备多晶硅及有机硅单体的重要原料,目前制备三氯氢硅的最主要的技术有直接氯化法(硅氢氯化法)和冷氢化法两种,二者都是通过冶金级硅粉与氯化剂在流化床反应器内进行气固非均相反应来合成三氯氢硅直接氯化法以氯化氢为氯化剂,而冷氢化法以氢气与四氯化硅的混合气体为 三氯氢硅合成系统的热力学研究 百度学术简述三氯氢硅法工序的工艺流程 五、应用领域三氯氢硅法工艺广泛应用于电子、光伏、半导体等领域,其制备的多晶硅作为半导体材料、太阳能电池材料等具有重要的应用价值。六、结论三氯氢硅法工艺是一种重要的硅材料制备方法,具有成本低、产品 简述三氯氢硅法工序的工艺流程百度文库

  • 阿拉善达康硅业有限公司官网

    阿拉善达康硅业有限公司由内蒙古达康集团于2009年投资成立,公司专注于三氯氢硅、四氯化硅的研发、生产、储存和销售。公司生产工艺技术先进,资源优势得天独厚,具有很强的竞争力。公司生产的三氯氢硅主含量达到9999%,硼磷含量控制在痕量级,碳含量控制 三氯氢硅生产及工艺SiHCl3的合成是在280~300℃的温度下进行的,已经超过了SiHCI。的自燃温度(175℃),在合成 过程中如果SiHCI。 发生泄漏,或者空气进入反应器, 极易引起燃烧、爆炸或中毒事故。并且SiHCI。有毒、 遇水燃烧,给火灾扑救带来 三氯氢硅生产及工艺 百度文库(三)硅粉粒度 * D7 s ^6 c+ e, x: ~6 S 硅粉与氯化氢气体反应是在硅的表面进行的,硅粉比表面积越大,越有利于反应,即要求硅粉粒度应该较小。但是粒度过小,流化时容易形成聚式流化床,有较多的气泡,将抑制传质进行,使氯化氢的一次转化率降低,同时,较小的颗粒迅速反应,很快就达到带出粒 三氯氢硅的合成工艺 百度文库三氯氢硅又称三氯硅烷、硅氯仿,英文名称:trichlorosilane或silicochloroform,分子式为SiHCl3,用于有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷的合成,是有机硅烷偶联剂中最基本的单体,也是生产半导体硅、单晶硅的原料,随着有机硅烷偶联剂工业的发展而三氯氢硅生产知识 百度文库

  • 金属硅粉制备工艺及装置 百度学术

    2015年6月21日 — 摘要: 本发明所述的金属硅粉制备工艺,首先是硅块经锤式破碎机初级粉碎,经斗式提升机进入碎料仓,再送入立式粉碎机研磨粉碎成粉碎物料;该粉碎物料的混和粗粉经第二斗式提升机送入方形摇摆筛筛分,筛至方形摇摆筛下部的成品粉贮存至成品仓,留存于方形摇摆筛上部的粗粉通过第三斗式提升 2014年11月10日 — 本发明公开了一种三氯氢硅的合成工艺,包括硅粉(Si)和氯化氢(HCl)的低压合成法制备三氯氢硅TCS的流程与设备,所述设备主要包括二氯二氢硅DCS蒸发器和流化床反应器,把精馏工段的二氯二氢硅DCS在蒸发器中气化,然后将气态的二氯二氢硅DCS 通入流化 三氯氢硅的合成工艺 百度学术在多晶硅工业中,氯硅烷作为生产多晶硅的重要原料,即使原料中含有痕量的杂质,最终也会影响多晶硅产品的质量杂质主要是金属氯化物,三氯化硼(硼在硅中作为一种正电荷掺杂剂),三氯化砷,三氯化磷(磷在硅中作为一种负电荷掺杂剂)等 氯硅烷精制技术的难点在于高纯三氯氢硅的节能高效生产工艺过程研究 百度学术摘要: 从工艺流程、工艺特点、核心设备结构等方面介绍了国内两种生产多晶硅所需的三氯氢硅制备工艺:改良西门子法和氯氢化法。前者以硅粉和氯化氢为原料制备三氯氢硅,其原料来源广、价格低廉;而后者以难处理的四氯化硅与氯气、硅粉、氯化氢为原料制备三氯氢硅,解决了四氯化硅的出路,提高 三氯氢硅制备工艺介绍 百度学术

  • 高效除三氯氢硅中痕量硼,磷工艺研究进展 百度学术

    摘要: 改良西门子法是生产多晶硅的主流工艺简述了多晶硅行业的生产背景和现状,介绍了多晶硅行业现今所面临的困境和多晶硅生产中原料三氯氢硅中痕量硼,磷杂质的高效分离方法,并讨论了多晶硅生产中原料三氯氢硅中硼,磷杂质的存在形式和分离难点,概述了多晶硅生产中原料三氯氢硅中痕量硼 三氯氢硅生产操作规程E、加硅粉完毕,如果硅粉枯燥器料位低于15%,那么应通过顶部加料料斗往硅粉枯燥器内添加硅粉,加硅粉前先用氮气置换硅粉枯燥器三次 ,在放空阀开启情况下往硅粉枯燥器参加硅粉。5.2.4每四小时对硅尘过滤器作一次反吹操作 三氯氢硅生产操作规程 百度文库2015年3月19日 — 摘要: 一种三氯氢硅合成系统,包括合成炉、为合成炉供应与合成炉内外加硅粉反应HCL的HCL储罐、用于冷凝合成炉尾气的冷凝器、接收来自冷凝器冷凝后氯硅烷液体的冷凝料储罐、接收来自于冷凝器的不凝气的缓冲罐,分离提纯来自于冷凝料储罐的氯硅烷的分离提纯装置、氯硅烷储罐、汽化器 三氯氢硅合成工艺及系统 百度学术2014年12月18日 — 碘生一壹曩中国化工贸易ChmaChcmicalTradeI实照堑硅粉中的杂质Al对三氯氢硅合成转化率和系统运行稳定性的影响平述煌曾亚龙李俊朝昆明冶研新材料股份有限公司。云南曲靖摘要:本文阐述了在三氧氢硅合成工艺中,工业硅粉中的杂质Al含量对三氨氢硅合成转化率和系统运行稳定性的影响,并以 硅粉中的杂质al对三氯氢硅合成转化率和系统运行稳定性的

  • 三氯氢硅尾气处理工艺 百度文库

    三氯氢硅尾气处理工艺介绍三氯氢硅尾气 处理的工艺和设备。三氯氢硅尾气(流量为3 000 m3/h)处理后排放气体中ρ(HCl)〈01 mg/L 烧反应生成氯化氢 , 氯化氢经深冷及硫酸干燥除去 水分后用于合成三氯氢硅 ; 三氯氢硅合成工序是硅 粉与氯化氢在流化 得 三氯氢硅合成工艺 三氯,工艺三氯,工艺 三氯, 工艺三氯氢硅合成系统原料硅粉用硅粉吊车提升至加料料斗的顶部,并将硅粉倒入硅粉干燥罐内。硅粉干燥罐的装料为每8小时一次,每次约1800kg,装好后,通过硅粉干燥罐外部的电加热器加热至200℃左右进行干燥约2~3小时,干 三氯氢硅合成工艺 百度文库三氯硅烷是一种无机化合物,化学式为SiHCl3。 为无色液体,溶于苯、乙醚、庚烷等多数有机溶剂,主要用于制造硅酮化合物。 新闻 贴吧 知道 网盘 图片 视频 地图 文库 资讯 采购 百科三氯硅烷 百度百科多晶硅工艺三氯氢硅3多晶硅纯化多晶硅在生长过程中常常伴随着一些杂质的存在,这些杂质会影响多晶硅的光电转化效率。 硅可以使用纯度较高的硅片或硅粉 进行制备,氯气可以通过工业方法制备。 2反应过程 氢气法制备三氯氢硅的反应过程可 多晶硅工艺三氯氢硅 百度文库

  • 三氯氢硅专用硅粉生产工艺PDF 4页 VIP 原创力文档

    2018年8月19日 — 三氯氢硅专用硅粉生产工艺PDF,三氯氢硅专用硅粉生产工艺 有侵权请联系我们删除! 河间破碎机网提供沙石厂粉碎设备、石料生产线、矿石破碎线、制砂生产线、磨粉生产 线、建筑垃圾回收等多项破碎筛分一条龙服务。 联系我们:您可以通过在线咨询与我们 氯气和氢气在氯化氢合成炉内通过燃烧反应生成氯化氢,氯化氢气体经空冷、水冷、深冷和酸雾捕集脱水后进人氯化氢缓冲罐,然后送三氯氢硅合成炉。硅粉经过干燥后加入到三氯氢硅合成炉,与氯化氢在300℃左右的高温下反应,生成三氯氢硅和四氯化硅。三氯氢硅生产工艺 百度文库三氯氢硅合成工艺简图 硅粉加料系统是由三个串联的料仓 〔一个干燥仓 一个硅粉料仓 一个计量仓 组成〕和一台 硅粉自动加料机组成。根据合成炉设计的参数,连续向合成炉加入 硅粉。干燥的氯化氢气体经缓冲罐稳压压后,由合成塔下部经分布管均匀 三氯氢硅 百度文库["三氯氢硅制备工艺介绍","Preparation process of trichlorosilane","从工艺流程、工艺特点、核心设备结构等方面介绍了国内两种生产多晶硅所需的三氯氢硅制备工艺:改良西门子法和氯氢化法前者以硅粉和氯化氢为原料制备三氯氢硅,其原料来源广、价格低廉;而后者以难处理的四氯化硅与氢气、硅粉、氯化氢 三氯氢硅制备工艺介绍 专业内容知识聚合服务平台

  • 三氯氢硅合成中湿法除尘工艺的探讨及优化 百度文库

    三氯氢硅合成中湿法除尘工艺的探讨及优化五、结论根据文献[2],湿法除尘不能达到100% 的除去粉尘作用。在三氯氢硅合成过程中淋洗器除去除粉尘的作用外,还起到降温冷却去除金属氯化物的作用,避免后续系统的堵塞。在淋洗过程中,只要严格按照 三氯氢硅生产工艺24硅粉精制岗位工艺流程简图g" ^4 M0 e/ ) ] H# ?" b$ n c7 r9 \4 i0 c7 G; L第三节三氯氢硅合成工艺31三氯氢硅的性质三氯氢硅别名为硅氯仿、硅仿、三氯硅烷;英文名:Trichlorosilane、Silicochloroform.三氯氢硅沸点为31三氯氢硅生产工艺 百度文库2008年10月23日 — 本专利由北京有色金属研究总院申请,公开,一种带有氮气保护的三氯氢硅或四氯化硅供应系统的控制管路,它包括:系统设计了两个输出端口,五个输入端口。其中一个输出端口和外延炉的工艺气体模块连接,向外延炉提供工艺气体,另外一个为输专利查询、专利下载就上专利顾如一种带有氮气保护的三氯氢硅或四氯化硅工艺系统的控制管路 2024年6月13日 — 课秳名称:多晶硅工艺学 第四章三氯氢硅的合成 新特能源多晶硅人才培训项目—— 授课教师:**;王永伟 新疆大学化学化工学院制作 能力目标 1理解三氯4第四章三氯氢硅的合成 豆丁网

  • 三氯氢硅专用硅粉 知乎

    2022年7月12日 — 利用三氯氢硅专用硅粉生产三氯氢硅的设备,包括三氯氢硅合成炉混合气出口管道连接高效旋风分离器,高效旋风分离器的出料口与硅粉回收罐连接;高效旋风分离器的出气口连接一级旋风分离器,一级旋风分离器的下方设有一级存渣罐,一级旋风分离器的出气口连接二级旋风分离器,二级旋风分离 2022年6月17日 — 光伏产业链从硅料到硅片、电池片、组件最终安装成光伏电站,涉及到各个环节, 天合光能 分布式推出各个环节从“一块石头到一度绿电”系列解读文章,深入解读各个生产环节,供行业内人士更清晰的知晓每 从一块石头到一度绿电:硅料篇 光伏产业链从硅料到 摘要: 三氯氢硅是制造有机硅烷偶联剂中最基本的单体,同时也是制备多晶硅的主要原料近年来随着三氯氢硅的用途逐渐拓宽,需求量大幅增加与国外先进的工艺技术相比,国内三氯氢硅生产中还存在生产不稳定,生产的副产物不能综合利用,尾气回收存在资源浪费等许多难点问题本论文通过对该工艺 三氯氢硅合成工艺的优化研究 百度学术硅粉精制是把会有一定量水分的硅粉在干燥炉内同氮气流化夹套蒸汽加热进行干燥,去掉水分,干燥后的硅粉含水量是影响三氯氢硅质量的关键因素,因此,严格控制工艺条件,保证硅粉质量是硅粉精制的主要任务。三氯氢硅生产工艺 百度文库

  • 三氯氢硅生产工艺 百度文库

    三氯氢硅生产方法一种四氯化硅氢化生产三氯氢硅的方法,其主要流程如下: a)将镍触媒与硅粉以质量比1-10%的比例均匀混合后置于活化器中,活化条件为H2↑流速≥0.05-0.3m/s,经不同时间阶段由25℃至终温420℃的升温条件下完成活化过程;2018年2月5日 — 内容提示: 三氯氢硅歧化反应动力学及反应精馏生产硅烷工艺研究 Research of trichlorosilane disproportionation reaction kinetics and Preparation process of silane by reactive distillation 学科专业:化学工程 研 究 生:黄友光 指导教师:黄国强 副教授 企业指导教师:田华明 高级工程师 天津大学化工学院 二零一六年五月 三氯氢硅歧化反应动力学及反应精馏生产硅烷工艺研究三氯氢硅合成。将硅粉卸至转动圆盘,通过管道用气体输送至硅粉仓,再加入硅粉干燥器,经过圆盘给料机并计量后加入三氯氢硅合成炉。在三氯氢硅合成炉内,温度控制在80—310℃,硅粉和氯化氢发生反应,生成三氯氢硅和四氯化硅。三氯氢硅生产工艺流程简介 百度文库2023年1月24日 — 1、三氯氢硅合成生产工艺 硅粉用人工加入硅粉干燥器,用蒸汽加热至一定的温度,然后利用氮气和位差压入硅粉计量罐,最后由硅粉给料机送入三氯氢硅沸腾炉,与通入的氯化氢气体在一定的温度下反应;生成的气体经重力沉降器、布袋过滤器、高沸物去除器 多晶硅三氯氢硅生产工艺流程合成氯化氢反应

  • 三氯氢硅制备工艺的改进 专业内容知识聚合服务平台

    针对西门子法三氯氢硅工艺存在的问题进行了技术改造,并对改造前后的工艺进行了对比 关键词: 三氯氢硅、西门子法、工艺、改进 所属期刊栏目: 50 分类号: TQ1272 在线出版日期: (万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间